嵌入式光纤微探头超精密激光干涉仪
激光干涉测量仪器在光刻机等高端装备集成、纳米传感器计量校准以及新材料特性表征等领域有广泛应用。作为激光干涉测量仪器发展的新方向,与传统激光干涉仪相比,微探头传感器式激光干涉仪测头集成度极高、体积极小,易嵌入实验装置或精密装备中,在狭小空间中执行测量任务;测头与主机仅通过单根光纤连接,装调便捷且不引入热污染,易达成超精密测量目标。 微探头传感器式激光干涉仪在航空装备领域、高端测量装备领域、精密计量测试领域、光刻领域等具备广泛应用,支撑装备制造中的传感式超精密测量需求,为我国高端光刻机研发提供嵌入式在线测量手段,为纳米计量测试提供核心仪器。在高端测量装备领域,可以用于光学轮廓仪等测量装备的嵌入式运动位姿监控,精准监测并控制内部器件运动是保证测量装备精度的重要环节;在精密计量测试领域,可以用于压电型声发射传感器的计量特性表征和光纤水听器声压灵敏度校准等,能够将校准结果溯源至激光波长,有效缩短溯源链、提高校准的不确定度水平;在光刻领域,可以用于光刻掩模板滑移监测和光刻掩模板形变测量,满足光刻机的嵌入式动态测量需求,提高光刻精度。
哈尔滨工业大学仪器学院胡鹏程教授团队