高效单晶硅生产硅粉高值化利用与氮化硅粉体核心制备技术研发

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超长薄壁单晶硅筒高精度内圆磨削技术与专用装备研发

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硅锭硅棒热应力优化控制与内应力检测技术

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柱状多晶硅铸锭均匀晶粒生长控制技术

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柱状多晶硅铸锭硅锭表面杂质点优化控制技术

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