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基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统

发布时间: 2022-12-08

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,高端装备制造产业,制造业
成果介绍
本发明公开了基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统，其中，所述基于微全息阵列的波前探测方法通过创建同时具有微透镜阵列成像和双螺旋点扩散函数功能的微全息阵列；待测波前经过所述微全息阵列在其后焦面上得到双螺旋点阵图；根据所述双螺旋点阵图获得波前斜率值，对所述波前斜率值进行波前重构，得到待测的波前信息，通过将待测波前经过微全息阵列后，在其后焦面上得到双螺旋形式的点阵图，当微全息阵列后焦面的像点存在离焦时，双螺旋点会按一定规律旋转而不会想高斯点一样明显扩大，因此能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响，当样品发生轴向位移时依然能够得到高的探测精度，在保证探测精度的前提下提高了传感器轴向的探测范围。
成果亮点
本发明涉及自适应光学技术领域，特别涉及基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统。 本发明的目的在于提供基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统，能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响，在目标物体产生轴向位移的时候，依然能够得到高的探测精度，在保证探测精度的前提下大大提高了传感器轴向的探测范围。
团队介绍
1、发明人：于斌, 李四维, 曹博, 屈军乐 2、第一发明人简介： 于斌， 博士，教授，博士生导师。目前主要从事超分辨显微技术及应用、计算光学成像、定量相位显微成像等方面的研究工作。目前承担国家自然科学基金、广东省自然科学基金、深圳市基础研究等多项科研项目。发表SCI论文70余篇，申请国家发明专利20余项，授权13项。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位：- (-) 评价时间：2022-12-23

胡荣杰

广东博士创新发展促进会

战略研究室主任

综合评价

相较于现有技术，本发明提供的基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统中，所述基于微全息阵列的波前探测方法通过创建同时具有微透镜阵列成像和双螺旋点扩散函数功能的微全息阵列；之后待测波前经过所述微全息阵列在其后焦面上得到双螺旋点阵图；根据所述双螺旋点阵图获得波前斜率值，对所述波前斜率值进行波前重构，得到待测的波前信息，通过将待测波前经过微全息阵列后，在其后焦面上得到双螺旋形式的点阵图，当微全息阵列后焦面的像点存在离焦时，双螺旋点会按一定规律旋转而不会想高斯点一样明显扩大，因此能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响，当样品发生轴向位移时依然能够得到高的探测精度，在保证探测精度的前提下提高了传感器轴向的探测范围。
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