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基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统
科技成果综合评价报告详情
科技成果综合评价报告
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成果名称
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所属单位
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联系人
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联系电话
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成果简介
本发明公开了基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统,其中,所述基于微全息阵列的波前探测方法通过创建同时具有微透镜阵列成像和双螺旋点扩散函数功能的微全息阵列;待测波前经过所述微全息阵列在其后焦面上得到双螺旋点阵图;根据所述双螺旋点阵图获得波前斜率值,对所述波前斜率值进行波前重构,得到待测的波前信息,通过将待测波前经过微全息阵列后,在其后焦面上得到双螺旋形式的点阵图,当微全息阵列后焦面的像点存在离焦时,双螺旋点会按一定规律旋转而不会想高斯点一样明显扩大,因此能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响,当样品发生轴向位移时依然能够得到高的探测精度,在保证探测精度的前提下提高了传感器轴向的探测范围。
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创新水平
关键共性技术
前沿引领技术
现在工程技术
颠覆性技术
其他
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技术进度
新设备或新装置
样机原理
工程样机
中试原型机
产业化
新材料或新技术
实验室阶段
工程化阶段
产业化阶段
技术成果
专利
国家专利
国际专利
奖项
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产品方向
有多个应用方向
有一个应用方向
没有应用方向
无法判断
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市场空间
需求前景巨大
需求前景较大
需求前景一般
无法判断
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成本竞争
优势明显
优势一般
没有优势
无法判断
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政策影响
政策鼓励
政策限制
政策淘汰
无法判断
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市场周期
进入期
成长期
饱和期
衰退期
无法判断
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转化周期
近期可控(1年内)
周期较长(2年内)
很难转化(3年起)
无法判断
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科技成果的创新基因评价
在光学元件和半导体制造以及天文、航空等领域,波前检测和测量起到重要的作用,其中以夏克-哈特曼波前传感器为代表的新型探测技术,广泛应用于光学元件,金属表面探测以及光束波前畸变和相差的测量等方面;目前的测量技术主要分为两类,一类是对波面面形直接测量,另一类为波前斜率测量;它们的代表分别为干涉仪和夏克-哈特曼波前传感器。由于干涉仪需要经过严格的精确校准,配套设施严格,受到环境因素影响巨大,因而,波前斜率测量方法受到更广泛的应用,其中最常用的为夏克-哈特曼波前检测法。
不少于150字
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科技成果的技术亮点评价
夏克-哈特曼波前传感器一般由微透镜阵列和CCD相机组成,通过CCD记录微透镜后焦面上像点的光斑信息,来计算光斑质心的偏移,重构波前信息。由于CCD的探测面在微透镜的后焦平面上,故探测光经过样品后,需要对波前进行准直为理想平面波,使得波前经过微透镜阵列后,像点全部在后焦平面上,这样计算出的光斑质心偏移的误差最小。但是,当样品发生轴向位移的时候,入射波前经微透镜后像点将不在后焦平面上,产生一定的离焦,探测面上的光斑会随着离焦的距离增大而变大[图2中的(b)],这样,计算质心偏移的误差将会随之增大,直接影响到波前重构的精度。
不少于150字
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科技成果的应用市场评价
当样品发生轴向位移的时候,入射波前经微透镜后像点将不在后焦平面上,产生一定的离焦,探测面上的光斑会随着离焦的距离增大而变大[图2中的(b)],这样,计算质心偏移的误差将会随之增大,直接影响到波前重构的精度。 因而现有技术还有待改进和提高。鉴于上述现有技术的不足之处,本发明的目的在于提供基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统,能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响,在目标物体产生轴向位移的时候,依然能够得到高的探测精度,在保证探测精度的前提下大大提高了传感器轴向的探测范围。
不少于150字
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评价专家组综合意见
相较于现有技术,本发明提供的基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统中,所述基于微全息阵列的波前探测方法通过创建同时具有微透镜阵列成像和双螺旋点扩散函数功能的微全息阵列;之后待测波前经过所述微全息阵列在其后焦面上得到双螺旋点阵图;根据所述双螺旋点阵图获得波前斜率值,对所述波前斜率值进行波前重构,得到待测的波前信息,通过将待测波前经过微全息阵列后,在其后焦面上得到双螺旋形式的点阵图,当微全息阵列后焦面的像点存在离焦时,双螺旋点会按一定规律旋转而不会想高斯点一样明显扩大,因此能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响,当样品发生轴向位移时依然能够得到高的探测精度,在保证探测精度的前提下提高了传感器轴向的探测范围。
评价专家署名
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评价专家姓名
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评价专家联系方式
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评价专家职务
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评价专家所在单位
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