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电子束直写曝光设备高精度传片系统

发布时间: 2023-05-05
来源: 试点城市（园区）
截止日期:2023-07-31

价格 双方协商

地区： 湖南省 衡阳市 耒阳市

需求方： 湖南***公司

行业领域

电子信息技术,新材料技术

需求背景

为全面落实“三高四新”战略定位和使命任务，按照省委省政府有关决策部署，进一步加强前沿性、引领性和关键共性技术攻关，提升科技创新支撑引领作用。研发新一代人工智能共性关键技术以服务湖南中小企业发展科技创新。

需解决的主要技术难题

针对电子束直写曝光设备传片系统存在的传片定位精度低、载片角度误差大、片盒控温精度低等难题，开展高精度传片机械手设计与制造、高稳定片库设计与制造、装卸片自动控制技术、高精度温度控制等关键技术研究，结合多物理量联合模拟优化，突破电子束直写设备高精度传片系统，支撑半导体关键装备电子束直写曝光设备的自主可控发展。

期望实现的主要技术目标

1、研制出一种电子束直写曝光设备高精度传片系统。

2、晶圆尺寸：8 英寸；

3、片盒数量≥8 片；

4、基片架调整基片角度≤±0.5°；

5、控温精度≤±0.5℃。

6、申请发明专利不少于2 项。

需求解析

解析单位：湖南省衡阳市 解析时间：2023-05-06

段斌

衡阳市科学技术协会

部长

综合评价

此需求描述已足够清晰，此项需求需通过与相关专业院校及科研院所的专家建立联系，针对现有技术的不足共同研发出该制造技术的优化方式，建议与现有电子束直写曝光设备高精度传片系统装备制造行业中的前沿企业所共同商讨此方案即可较快解决此需求。
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处理进度

  1. 提交需求
    2023-05-05 16:51:54
  2. 确认需求
    2023-05-06 08:38:01
  3. 需求服务
    2023-05-06 16:38:24
  4. 需求签约
  5. 需求完成