高过载三自由度加速度计
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高g值加速度计
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
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一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
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含双传感单元可消除偏心误差的螺杆泵井角速度测量装置
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基于振动信号同步压缩变换的旋转机械瞬时转速估测方法
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一种摆线针轮减速器针齿转速测量方法
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一种转速测量装置
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一种基于压电特性和静电感应的轴承转动测量装置
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一种爆炸箔起爆器驱动飞片的测速方法
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一种改进型狭窄通道内流动测量装置
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离焦数字三维微流场荧光测试仪
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一种扫描离子电导显微镜激光定位探头
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基于平衡电桥的双探针扫描离子电导显微镜系统及其成像方法
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高频振动载物台及基于该载物台的SICM系统和扫描方法
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一种水凝胶微孔阵列形貌表征的方法
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一种超低粗糙度钨探针的制备装置及方法
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一种非接触测量用电容传感器下限频率拓展系统
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