用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
一种太赫兹探测器射频读出装置及其实现方法
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室温太赫兹波探测器
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一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法
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LED外延片的制备方法及装置
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可调焦式光源
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降低GaN外延生长位错集中的微纳米结构及其应用
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一种在微电子或光电子芯片上的光刻胶沉积的方法
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室温单电子晶体管的制备方法
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一种肼的传感防护系统
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基于Plasmon增强的量子阱红外探测器及制备方法
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具有多重环带结构分布图形的衬底及其制法与应用
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高速电调控太赫兹调制器
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一种调控柔性电子器件介电层厚度的方法
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氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法
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硅基核壳纳米线光伏电池及其制备工艺
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I-V二阶微分测量方法及装置
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基于纳米柱阵列的光电器件及其制作方法
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微型拉伸测量组件及其制作方法
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超快电子器件测试系统及方法
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