1988.09--1992.06 兰州大学物理系本科生
1992.09--1995.06 兰州大学物理系硕士研究生
1995.09--2000.01 清华大学物理系固体物理研究所博士研究生
2000.04--2002.07 清华大学力学系博士后
2002.07--2003.07 中国科学院电工研究所工作
2003.07--2007.12 中国科学院电工研究所电子束曝光技术研究组组长
2007.12--2016.04 中国科学院电工研究所所长助理、微纳加工技术研究部主任
2016.04--2017.08 中国科学院电工研究所所长助理、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任
2017.08--2017.12 中国科学院电工研究所副所长、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任
2017.12-- 中国科学院电工研究所副所长、微纳加工技术研究部主任
研究方向为微纳加工技术及智能电气设备.