大尺寸蓝宝石晶体生长关键设备设计及长晶控制技术
166mm大尺寸多晶硅棒的开发
8寸轻掺硼半导体级大尺寸硅片生产技术
单晶硅生产提拉速技术研究
N型产品电阻率控制技术
数字化研究及应用
检验检测平台开发
利用热场取热技术加大单晶炉热场纵向温度梯度技术
单晶硅生长用原材料破碎、清洗关键技术研究
M6单晶硅制备过程提速技术的研发与应用