MPW流片

上海工研院(SITRI) 联合中国科学院上海微系统所建立硅基光电子器件工艺平台，拥有近5000平米洁净室，具备90 nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力，可以通过MPW、定制化流片、联合研发等多种方式为各类高校、科研院所和企业提供服务，满足客户研发、中试、封装等多样化需求。

经过多年沉淀积累，上海工研院硅光平台的服务能力持续稳定提升，日趋成熟，获得了行业的高度认可。2023年，90 nm硅基光电子技术入选《2023年上海市科技进步报告》，并在2024年入选中国光学工程学会“硅基光电子三年优秀成果展”。市场热烈的反馈鼓舞我们乘势而上。为助力合作伙伴抢占创新制高点，我们正全力优化内部资源与流程，致力于在2026年实现更短、更快的流片周期并提供更优质的服务。为促进国内硅光技术的研究与产业化，降低研发门槛，上海工研院计划在2026年继续组织MPW流片服务。本计划面向高校、科研院所及初创企业，提供基于成熟硅光工艺的、低成本、周期稳定的流片机会，旨在加速创新芯片设计的验证与迭代。

在持续夯实硅光核心工艺的同时，上海工研院也前瞻性地布局了前沿的薄膜铌酸锂光子技术平台。目前，平台已成功建立起8英寸的薄膜铌酸锂光波导制备能力，并完成了超高速电光调制器等关键器件的流片验证。同时，工研院积极探索异质集成创新路径，具备薄膜铌酸锂工艺与现有硅光平台的深度融合能力，为下一代通信用超高带宽调制器、先进光子计算芯片以及量子信息处理系统提供开放、高效的研发与中试服务。

在此，上海工研院诚邀各界同仁，无论是深耕前沿的学术力量，还是锐意创新的产业伙伴，尽早布局，把握良机，携手加入本次流片计划。2026年，让我们在硅基光电子的星辰大海中并肩前行，共绘未来蓝图，开创更多可能！

2026年硅光MPW流片安排

* 提交第一版版图时间：表中时间为客户首次提交自查DRC free的版图时间

* block面积：单个Block尺寸3mm × 10 mm

* 交付数量：交付25个芯片

* 预订截止时间：每批次在版图提交前10天，即当批次所在月5日为截止日（注：2月批次的截止日为1月25日）

* 不可取消时间：每批次在版图提交前5天，即当批次所在月10日为截止日（注：2月批次的截止日为1月31日）

硅光MPW流片工艺

上海工研院共提供5套硅光工艺，包括SOI无源工艺、SiN无源工艺、SiN-on-SOI无源工艺、SOI有源工艺和SiN-on-SOI有源工艺。具体工艺能力如下：

01．SOI无源工艺

目前，SOI无源集成工艺流片的最小工艺节点为90 nm，具备三步硅刻蚀、TiN金属加热电极、单层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能的硅光无源器件。

基本工艺能力如下表所示：

02．SiN无源工艺

SiN集成工艺流片具备LPCVD氮化硅、TiN金属加热电极、单层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能氮化硅无源器件。

基本工艺能力如下表所示：

03．SiN-on-SOI无源工艺 

SiN-on-SOI无源集成工艺流片，Si的最小工艺节点为90 nm，SiN的最小工艺节点为200 nm，具备了三步硅刻蚀、LPCVD氮化硅、TiN金属加热电极、单层铝互连以及深硅刻蚀等关键工艺能力。该工艺结合了氮化硅和SOI平台的优点，能够实现高性能的硅光子和氮化硅无源器件。

基本工艺能力如下表所示：

04．SOI有源工艺

目前，90 nm SOI有源工艺流片的最小工艺节点为90 nm，具备三步硅刻蚀、多步有源器件掺杂、锗外延与TiN金属加热电极、双层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能的硅光无源、有源器件。

基本工艺能力如下表所示：

05．SiN-on-SOI有源工艺

SiN-on-SOI有源工艺流片，Si的最小工艺节点为90 nm，SiN的最小工艺节点为200 nm，具备三步硅刻蚀、多步有源器件掺杂、LPCVD氮化硅、锗外延与TiN金属加热电极、双层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力。该工艺结合了氮化硅和SOI平台的优点，可实现各种高性能的硅光无源、有源器件和氮化硅无源器件。

基本工艺能力如下表所示：

 服务流程   

如有流片需求，请邮件联系商务潘经理获取PDK，欢迎垂询！

邮箱：Hongming.Pan@sitri.com

电话：139 1664 3350

关于上海工研院

上海工研院（全称“上海微技术工业研究院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台。通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发，为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。

上海工研院2025年被评选为国家专精特新“小巨人”，是国务院国资委2022年、2023年“科改行动”标杆企业、国家知识产权优势企业、上海市“专精特新”企业，连续两年入选上海市硬核科技企业TOP100，已累计申请专利突破1000件，培育孵化公司20余家，总估值超过150亿元。

上海工研院立足上海、面向长三角、辐射全国，构建科学研究+技术攻关+产业孵化+资本赋能+人才高地全过程创新和高质量孵化生态链，建设科技创新和产业创新深度融合发展的“超越摩尔”集成电路功能型平台和产业生态，推动“超越摩尔”集成电路领域新质生产力跃升。