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银川经开区：科创热潮破局 创新引擎领航

发布时间： 2025-10-15

“离年底的目标任务还有一定距离，近期辛苦大家加班加点做好测试，跑好全年‘最后一棒’。”近日，在银川经开区六盘山实验室的车间内，精密检测仪器与高端装备有序运转，科研人员干劲十足，科技攻坚热潮正酣。

六盘山实验室高端控制阀及智能控制器研究中心总监孟存瑞负责的半导体领域光刻机超精密控制阀项目，是今年新立项项目，目前样机已研制成功、进入测试阶段。“一次可做10台阀循环测试，启闭动作0.1秒/次，我们还优化了流道设计与控制塞阀。第一批阀已完成百万次寿命密封测试，性能与国外产品相当。”孟存瑞介绍，团队从8月起加班加点，力争年底前形成至少20台样机，确保整阀循环测试寿命大于等于1000万次。

光刻机是半导体制造核心装备，超精密控制阀作为其核心零部件，对高纯度流体精准输送，直接影响芯片生产工艺稳定性与产品良率。2025年，六盘山实验室共开展19项科研项目，70%已完成年度研发任务进入测试优化环节，剩余30%接近尾声。“今年年底预计有高压氢阀、智能铸造绿色化关键技术体系等5项成果转化，截至7月实验室R&D经费达5900多万元，预计全年接近1亿元。在日前召开的学术委员会上，院士专家肯定项目并提出攻关建议，会后研发人员在周末主动加班，全力冲刺目标。”六盘山实验室科研管理部部长许少峰说。

科技成果转化亦有企业助力。宁夏隆基电气有限公司环保型配网设备及智能化关键技术团队，今年被评为银川市科技创新团队，获30万元经费支持，还在人才引进上受益。“平台搭建实现筑巢引凤，提升了创新能力。”该公司研发总监徐志说，目前研发人员22人，截至当前订单量较去年全年增长10%，年底目标技术合同成交金额较去年翻番。今年企业承担自治区重大科技研发项目、银川市重点支撑项目，将依托创新平台高质量交付。