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喜讯丨微加工与器件平台入选工业和信息化部首批重点培育中试平台

发布时间： 2025-06-26

        6月25日，广东省工业和信息化厅发布《广东28个平台入选工业和信息化部首批重点培育中试平台，数量全国第一》公告，其中由松山湖材料实验室微加工与器件平台为主体申报的“广东微纳加工与器件制备中试平台”成功入选。

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        广东微纳加工与器件制备中试平台（以下简称“平台”）经自愿申报、地方推荐、形式审查、专家评审、征求意见等程序，成功入选首批工业和信息化部重点培育中试平台名单（广东省）。

       平台聚焦微纳加工技术前沿及泛半导体材料与器件的产业发展趋势，积极布局先进化合物半导体、微电子、光电子、MEMS传感器、异质异构混合集成关键技术、微纳光学等领域，以满足电子信息、未来显示、人工智能、汽车电子、智能装备、工业自动化等产业发展对泛半导体材料、芯片及先进微纳制造技术的需求。

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        截至2024年底，平台已累计投入超5亿元，配置各类半导体材料与芯片微纳加工、检测设备约200台套，建设超净实验室及配套设施约3000平米，已初步建成集泛半导体材料制备、器件工艺制备、及特色工艺开发为一体的综合性研发中试平台，并获批认定广东省半导体材料与器件异质集成工程技术研究中心，通过ISO9001质量管理体系再认证。

       平台设备总体选型满足加工线宽从百微米到十纳米量级全尺寸覆盖、加工晶圆尺寸从8英寸→6英寸→4英寸→2英寸→小片的全尺寸兼容，实现了从微米到纳米级别的可控加工与测试，并可为用户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案，是华南地区首个完全对外开放服务的8寸向下兼容的泛半导体微纳制造综合性研发与中试平台。

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        中试是贯通实验室研究与产业化生产的“黄金纽带”，此次平台的成功入选，可有效推动产业链和创新链深度融合，打造“产-学-研-用”协同创新模式，加速创新成果向产业应用的快速转化。未来平台将持续加强特色工艺开发、先进微纳制造与中试支撑能力建设，满足科研与产业公共需求、支撑共性技术研发和创新的同时，进一步持续深化与高校、科研院所及产业链企业的合作，提升科技创新能力，推动更多创新成果落地。

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