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广州增芯搬入光刻机设备，已进入调试投产准备阶段

发布时间： 2024-03-19

3月11日上午，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）在广州增城开发区举行光刻机搬入活动，这标志着增芯项目迎来项目建设的关键性节点，顺利进入调试投产准备阶段。

据悉，正在准备调试投产的光刻机来自欧洲，3月9日已运抵增城。该设备有超过十万个精密零部件，光运输就用了6个集装箱大卡车。

增芯项目是省、市重点项目，打造国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，项目于2022年底动工，仅用时9个月零6天就完成了20万平方米厂房的主体结构建设封顶，实现了“开工一年装机”。如今，封顶5个多月后便迎来了生产线最核心的装备——光刻机，这一速度相当令人瞩目。广州增芯科技有限公司总经理张亮此前接受广州日报新花城记者采访时表示，增芯计划今年6月完成设备调试，并尽快投产，力争今年年底实现第一批传感器产品下线销售，2025年产量持续爬坡。张亮还透露，北京、上海的一些同行已有意落户广州，甚至建设华南研发中心或建设基地。

文/广州日报新花城记者：钟达文

广州日报新花城编辑：李光曼

来源：广州日报新花城