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面向集成电路先进制程的电子级二氯硅烷工艺开发

发布时间： 2022-10-31

电子级二氯硅烷（DCS）是半导体工业重要硅源气，具有沉积速度快，沉积薄膜均匀、沉淀温度较低等特点，主要用于外延生长和化学汽相沉积二氧化硅和氮化硅。较低温度下，DCS沉积所需时间大大低于硅烷所需时间，尤其是28nm以下先进制程中，对沉积的氧化硅、氮化硅及薄膜硅外延层质量提出了更高的要求，DCS已全面取代硅烷和三氯硅烷成为主流硅源。

我公司作为集成电路材料联盟企业，开发、生产第一至第三代半导体产业所需多种高纯材料，公司拥有一支专业研发团队，研发中心建有多条中试线，配备多种分析检测设备。

依托技术条件和已有的集成电路客户基础，公司立项开发电子级DCS，该项目的成功实施，将填补先进制程用电子级DCS的国内空白，打破国外垄断，满足客户关键原材料国产化的战略需求。

                                                                      安徽亚格盛电子新材料有限公司