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“亦庄造”刻蚀设备完成最后拼图

发布时间： 2022-08-17

       本报讯（融媒体中心吴怡铭）8月12日，北方华创新品发布会在北京经开区总部举行，会上发布了企业自研的新产品——NMC508RIE介质刻蚀机。这是北方华创首次以8吋设备整体解决方案的视角，全方位、多维度地展现NAURA在CCP介质刻蚀领域实现的创新突破。自此，北方华创已实现8吋刻蚀工艺的全覆盖，同时也完成了在刻蚀领域国产设备工艺的最后一块拼图。

       北方华创第一刻蚀事业单元副总经理陈庆表示：“目前，国内的8吋、6吋生产线正在经历一个‘老瓶装新酒’的发展时机，汽车电子、物联网等高速增长的芯片需求正在驱动市场进行渐进式的器件与工艺的更新。”NMC508RIE采用了最新的装备技术应用到8吋设备，专为新工艺需求定制，开发出同时兼容到6吋的全新多频解耦CCP介质刻蚀设备，不仅具备刻蚀速率高、均一性好、工艺窗口大等特点，能更好地满足新型器件高深宽比结构的发展趋势，且系统稳定性高、维护成本低。

       刻蚀机是集成电路领域刻刀般的存在，“可靠、创新、卓越”是NMC508RIE的特色。在可靠性方面，该企业18年成熟的软件系统应用，以及稳定的备件系统，配备可靠供应链，并搭载全套服务团队，可提供包括工艺开发、零部件供应、软件升级、质保服务等在内的全方位保障；在创新方面，不仅前道工艺刻蚀形貌好、选择比高、工艺性能优越，而且后道工艺可实现对金属副产物的有效控制，维护周期长。此外，该产品还采用多频射频技术、独特的防等离子打火结构和精确的电极控温设计，以及自主研发的通用晶圆传输平台。据介绍，作为CCP刻蚀机，NMC508RIE具备在介质刻蚀上的高选择比、高刻蚀速率等优势，适用于介质类氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜层材料，并可为客户提供逻辑器件、功率器件、化合物半导体等多种特色工艺。

        “应时而生，北方华创推出全新CCP介质刻蚀机，致力于通过开放的生态合作、持续的创新投入、丰富的工艺解决方案经验，帮助客户加速实现量产升级。”北方华创集团董事长赵晋荣说。

        2005年8月，北方华创第一台ICP（等离子）)刻蚀机进入大生产线，目前已有上千台设备服务客户；2017年11月，北方华创第一台金属刻蚀机，目前已有上百台设备服务客户；2022年8月，北方华创正式发布CCP介质刻蚀机，目前已在5家客户完成验证并实现量产……创新求变是北方华创的持久驱动力，未来，该企业将坚定创新理念不动摇，始终坚持以客户为中心，精研市场需求，推出更多新产品与工艺解决方案，致力于持续推动产业进步，创造无限可能 。

       图文来源：亦城时报