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填补技术空白：成就行业“顶流”

发布时间： 2022-06-13

      “集成电路产业链很长，离子注入位于这条产业链的前端。先进技术节点的集成电路芯片，通常需要70多道注入工序，设备的注入量要控制得很精准，才能避免各道工序的杂质颗粒污染。但此前，高端的离子注入机长期被国外企业垄断。”北京烁科中科信总经理舒勇东说。瞄准国内技术空白，解决“卡脖子”技术难题，成为企业的创新目标。

       通过技术攻关，北京烁科中科信将剂量注入精度误差由2%提升到0.1%,达到业界先进水平；且公司自主研制的中束流、大束流、高能离子注入机相关研发成果，两次荣获北京市科学技术进步一等奖。“现在，我们实现了离子注入机全谱系产品国产化。尤其是实现了离子注入机在28nm（纳米）以上工艺领域的进口替代和自主可控，具备年产30台离子注入机的能力。”舒勇东说。截至今年5月，公司已签订离子注入机订单21台，就在5月15日，北京烁科中科信第3台中束流离子注入机顺利交付客户产线。

       在另一家专精特新企业——中航迈特的增材制造和新材料技术创新中心，示范生产线旁的展台上，摆着形状各异、结构复杂的金属高精密零部件。这是由带着“颠覆性”光环的增材制造（3D打印）技术制造出来的。

       在3年时间里，中航迈特突破多项粉体材料制备技术瓶颈，实现了十余种3D打印领域主流材料国产化，成为国家级专精特新“小巨人”企业，在增材制造金属材料领域市场占有率位居行业前列。

       创新，是专精特新企业的灵魂。“填补国内技术空白”“加大研发投入”等，不仅是专精特新企业掌门人口中的高频词，也成为企业发展后劲的鲜明注脚。

       图文来源：亦城时报