科创中国

最新项目，开年投产！

发布时间： 2022-01-30

日前原磊纳米材料先进制程镀膜设备

制造中心项目

正式投产

预计首批产品将于2月组装下线

，时长02:00

该项目坐落在大庙街道凤凰湾电子信息产业园。记者在洁净的车间看到，几名身穿防护服的工作人员们正忙着安装和调试ALD设备。

据了解，原子层沉积（ALD）是一种可以将目标物质以单原子膜的形式，分层镀在基底表面的先进沉积技术，是半导体领域的必要技术。

目前，ALD设备是应用在先进制程上的半导体真空薄膜沉积设备。原磊纳米材料致力于成为拥有设备、材料、工艺全链条核心技术的半导体领域领先企业，为半导体行业提供最满意、最全面的真空镀膜设备及工艺解决方案，主要产品是研发型和量产型ALD设备。

原磊纳米徐州装配中心主任张厚鹏表示，

该设备是通过一定的工艺手法

使材料在原子层级别进行沉积，

沉积的厚度和沉积的循环批次可以受控，

在国内已达到领先水平。

2022年出货在50到70台，

预期产值在5千万到7千万。

凤凰湾电子信息产业园

是经开区瞄准封装测试和第三代半导体产业打造的“特色园区”，经开区优化各项服务机制，扎实推进项目快速投产，截至目前，园区内江苏天科合达、江苏晶凯半导体、徐州芯思杰等一批项目已竣工达产。

“徐州原磊是凤凰湾电子信息产业园第一家做半导体薄膜沉积设备的项目，也是园区2022年第一家投产的企业，下一步，我们将继续跟踪服务园区其他在建项目，全力推进在建项目早投产，投产项目早达效。”大庙街道代办服务中心相关负责人表示。

文稿：金龙湖快报

编辑：晓蕊

审核：凯轩

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发布时间： 2022-01-30