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21年产业组-高性能制冷红外焦平面探测器

发布时间： 2021-12-01

 由武汉高德红外股份有限公司、中国科学院半导体研究所、武汉高芯科技有限公司共同设计完成的“高性能制冷红外焦平面探测器”，

    研发了大尺寸锑化物红外焦平面探测器材料外延、高密度、小尺寸铟柱制备和大规模面阵倒焊互连、全温区整机动态仿真和高耐磨纳米涂层等技术，实现了高质量碲镉汞材料大批量生产，攻克了超晶格低损伤、高深宽比的微台面成型和低暗电流的双层钝化技术，研制出超大面阵、多色红外成像的高性能制冷型焦平面探测器，满足了极端工作环境下应用。