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21年产业组-“以微带宏”刚柔耦合超精密运动平台

发布时间： 2021-12-01

 由广东工业大学和佛山市华道超精科技有限公司共同设计完成的“‘以微带宏’刚柔耦合超精密运动平台”。

    利用柔性铰链大变形刚度非线性特性，首创了“以微带宏”的单驱模式，实现宏微自适应切换；采用柔性铰链的弹性变形补偿，主动优化变形分布；将弹性扰动、负载等效统一，解决了批量制造和负载变化导致的偏差；发明了无接触刚度波动的导轨和Aerotech对标平台，有效提升了工件位移的动静态精度