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18年金奖-大型高精度衍射光栅刻划机

发布时间： 2021-12-01

该项目是我国自主研制的衍射光栅制造系统，突破了重载荷、长行程纳米精度定位、刻划刀具寿命、光栅刻划在线监测与误差修正等关键技术，研制出大型高精度光栅刻划系统，并成功刻制出了400mm×500mm世界上最大面积的中阶梯光栅，打破了我国大面积高精度光栅受制于人的局面，为我国国家战略高技术领域重大项目的开展奠定了基础。