基本信息
我司主要研发、生产、销售高端单双面精密研磨/抛光设备,产品应用于以硅晶圆和碳化硅晶圆为代表的半导体材料、以AR/VR光学元件为代表的精密光学材料以及晶体、陶瓷、金属元件、磁性材料等多个行业。我司注重技术人才的培养、技术研发的积累和创新。短时间内通过技术的创新与突破,已经形成最小6B最大32B的B系类双面研磨抛光机产品系列;单面24B-59B单面抛光机产品系列。多项产品获得各项技术专利26项,申请中12项。经过单、双面精密研磨与抛光后可轻易使工件达到近乎理想化的平坦度、平行度可以达到面粗度纳米级以下的精密程度。可满足半导体芯片制造、高精密陶瓷零部件、精密光学零部件以及精密机械配件的生产加工需要,打破了国外高精密设备的垄断。