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嘉兴微拓电子科技股份有限公司

产业园区

浙江省 | 嘉兴市 | 嘉善县

基本信息

嘉兴微拓电子科技股份有限公司于2015年成立于嘉善归谷园区，半导体照明时代的到来，LED已经成为战略性产业。由于在LED制造过程的良率和效率的矛盾，对衬底制造提出来高标准。项目启动时，业界还没有类似的设备用于蓝宝石衬底的检测，结合我们的技术能力和市场熟悉程度决定开发该项自动化光学检测分选设备。 本产品是国内首创的用于半导体制造，特别是LED制造的关键工艺----PSS和MOCVD的设备。由于衬底的厚度、平整度、翘曲度对该两项工艺有直接的影响，会导致良率、效率和光谱一致性的降低，传统的单一标准检测方法5um或10um）已经不能满足生产的需要。本产品就是根据市场具体需求开发的检测与分选功能集于一体，用于测试半导体基片表面平整度、翘曲度等个参数的检测设备，可有效实现基片生产过程中的机械化和自动化测量，不仅提高了生产效率、测试结果精确，而且无污染。该设备适应了自动化技术的发展趋势，集基片机械化、自动化测试及数据动态处理于一体，是系统化、集成化和智能化的体现，可促进半导体科技的发展，提高其领域的生产效率。 项目得到了嘉善归谷园区的大力支持，获得了2015年嘉兴市领军人才C类。