科创中国

行业领域

高端产业

需求描述

需求背景及内容：

1、实现空中搬送小车高速行走的新型安全供电方式。

2、提高系统效率的AMHS系统效率因素研究和系统稳定可靠的多任务控制策略。

3、高速搬送车运行、转向、升降和定位的稳定性研究（无晃动摆动）。

要求目标：

 1、空中晶圆输送小车多岔道自动转向技术（无需道岔） ，需要研究空中搬送车的逻辑分配、在十字路口处空中搬送车的先后通行顺序的逻辑控制、当前方的搬送车发生故障时后续搬送车的反应逻辑、空中搬送车行走卧的仅域控制，空中搬送车行走的最优路径选择和调层空闲搬送车的管理。国内空白，目前世界上半导体行业应用的半导体晶圆洁净自动搬送系统（AMIS）均为日本的村田和大福制造。

2，该系统对控制的要求较高，要既快又稳， 启停无抖动，需在控制算法策略上和信号响应上开展研究攻关和突破。

3、主要参数：速度>3m/s，重复停位精度： ±1mm；取放物料精度x轴： ±0. 2mm； Y： ±0. 2mm；整机开动率>99.6%；调度空中穿校车数量>20台；整机噪声<45dB （A） ；振动速度有效值<0.45mm/s。

处理进度