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新能源及节能技术

需求背景

RF-CO2激光器是目前市场应用广泛的一种激光器，而此类激光器目前主要依赖进口，国内的射频激光器在关键技术和核心器件上仍然受制于国外生产商。射频激光器中最重要的一个部件就是射频电源，射频一直是一个技术难点，为了缩短RF-CO2激光器的开发周期，提高RF-CO2激光器开发效率，这就要求RF-CO2激光器的射频电源能够更加智能、集成和便于控制。

需解决的主要技术难题

目前，射频大功率晶体管集成化尚有困难，RF-CO2激光器中的射频功率器件和控制器件都是各自分开独立工作，RF-CO2激光器中射频电源的基本构成模块如图1所示，其中1为交直流转换系统，2为振荡电路，3为晶体管功放电路，7为阻抗匹配电路，9为RF-CO2激光器负载，10为PWM输入信号控制电路。接通电源后，由交直流转换系统1提供稳定的直流电给振荡电路2，振荡电路2与晶体管功放电路3连接，实现信号放大，放大后的电路通过阻抗匹配电路7与激光器负载9相连，最后调节PWM输入信号10的占空比输入情况，即可输出一定功率的CO2激光。

期望实现的主要技术目标

本公司正在研发管一种用于制备高效技术太阳电池薄膜沉积装备—等离子体增强化学气相淀积（PECVD）装备，主要功能是在电池背面沉积非晶硅（a-Si:H）半导体纳米材料。现需要一种非标定制的射频电源，主要参数如下：

功率10KW

频率 200KHZ

处理进度