科创中国
铝蚀刻液
发布时间:
2022-11-21
来源:
试点城市（园区）
截止日期:2023-11-21
价格 双方协商
地区： 河南省 濮阳市 华龙区
需求方： 迈奇***公司
行业领域
精细化工
需求背景
通常在对铝进行干蚀刻制程后，会出现颗粒物附着于蚀刻腔体的内壁上形成发尘源(particle source)的问题，当这些颗粒物在后续的蚀刻制程中掉落于待蚀刻膜层上时，很可能造成线路蚀刻残留和短路的问题，影响产品良率。通常这些颗粒物包括氯化铝(AlCl3)颗粒、氧化铝(Al2O3)颗粒、及氟化铝(AlF3)颗粒。因此需要一种铝蚀刻液技术。
需解决的主要技术难题
铝蚀刻液的技术难点在于铝金属电化学性质差异大，氧化能力不同，即蚀刻速率存在较大差异。在实际生产时，往往是-种蚀刻液同时对应多层金属膜层，蚀刻完成后对应坡度角有时会存在异常，如膜层角度较大(80~90°)、顶层金属钼发生尖角或缩进等现象，产生宏观不良及进行后工序时会产生相应的光学不良或导致后层物质残留，影响产品品质。
期望实现的主要技术目标
1、提供一种金属铝蚀刻速率高，反应稳定，无残留，基本无侧蚀的生产工艺。
2、解决蚀刻液组合物蚀刻铝材料过程中，对蚀刻速率慢、难以控制蚀刻角度和不同金属层的蚀刻量而造成的多层配线的半导体装置的配线的断路、短路，得到较高的成品率，提供一种高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液组合物。
需求解析
解析单位：河南省濮阳市 解析时间：2022-11-23
王学峰
中国石化中原石油化工有限责任公司
化工专家
综合评价
此项需求从内容上来看比较清晰，铝蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的组成比例会影响到蚀刻的速率对产业发展具有重大意义，是一种良好的半导体材料，目前这个需求指向性很明确，可以推送给北京化工大学、中科院过程所和北京包装协会等相关领域的科研院所和专业团队，然后组织对需求有对接意愿的专家和企业对接，针对技术需求进行深入的磋商和沟通，共同研究出相应的对接方案和技术解决路径，最终解决此项需求。
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处理进度
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提交需求2022-11-21 15:38:49
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确认需求2022-11-21 16:26:38
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需求服务2022-11-21 16:26:38
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需求签约
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需求完成
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