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75kW、915MHz的MPCVD设备开发

发布时间: 2025-10-15
截止日期:2025-10-15

价格 双方协商

地区： 湖北省 宜昌市 枝江市

需求方： 湖北***公司

行业领域

新能源及节能技术

需求背景

为满足5G通信、卫星光通信、高功率激光窗口及芯片散热等领域对高质量大尺寸金刚石日益增长的市场需求，亟需开发国产化的75kW、915MHz MPCVD设备，以突破国外技术封锁，解决高质量金刚石制备难度大、沉积速率低、成本高昂以及工艺稳定性不足等关键问题，实现高质量、高速率、多品类金刚石的稳定、批量化制备。

需解决的主要技术难题

关键问题需要解决：

1.原位制备大尺寸高质量多晶金刚石，需要进一步提高金刚石的质量；在保证高质量的前提下提高金刚石的沉积速率；解决多品类金刚石的稳定化制备难题。

2.随着金刚石在 5G 通讯、卫星及光通讯领域、高功率激光器及光源的窗口应用领域、卫星及芯片等散热领域的广泛应用，市场对高质量金刚石片的需求量越来越大，由于大面积金刚石制备困难及国外的技术封锁导致价格过高，从而难以广泛使用。

3.高质量、高速率、批量化的单晶金刚石制备需要高端 MPCVD 装置，其国产化和先进性问题急需解决，实现设备成本的降低与工艺的稳定性。

期望实现的主要技术目标

1.高质量多晶金刚石工艺，显著提升沉积速率与质量；

2.设备关键部件国产化，保障工艺稳定性并大幅降低成本；

3.突破单晶金刚石的先进制备工艺，满足高端应用需求。