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集成电路装备零部件高致密耐刻蚀氧化钇涂层制备关键技术攻关

发布时间: 2023-07-26
截止日期:2024-07-26

预算 双方协商

基本信息

地区： 浙江省 宁波市 鄞州区

需求方： 宁波***市场

行业领域

电子信息技术

需求描述

一、需求背景

围绕解决我国目前集成电路装备中关键零部件依 赖进口及国内制造和防护技术无法满足要求问题，采取合适方法 来消除涂层沉积过程中的大颗粒问题。

二、服务内容

消除由大颗粒所带来的涂 层致密度差不耐腐蚀问题，从而有效保障涂层成分及性能的均匀 性。制备出满足质量需求的防护涂层，真正满足对于刻蚀制程设 备中零部件高耐腐蚀需求，为保障刻蚀制程设备的长期稳定运行 起到核心支撑作用。 

三、服务要求

 （1）膜层厚度>110μm； （2）5%*** 耐腐蚀性>3H； （3）膜层硬度>4GPa； （4）涂层结合力>30MPa； （5）击穿电压>500V/MIL； （6）孔隙率<3%，且膜层无熔滴、颗粒等。