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高速高精度小型化机械手开发

发布时间: 2023-07-26
截止日期:2024-07-26

预算 双方协商

基本信息

地区： 浙江省 宁波市 鄞州区

需求方： 宁波***市场

行业领域

高新技术改造传统产业

需求描述

一、需求背景

开发高速高精度小型机械手，适应整机叠层布局;掌握机械手运动重复定位精度控制、速度控制、洁净度控制、晶圆激光自动补偿标定等关键技术攻关。

二、服务内容

优化晶圆传送流程，提高传送效率并减少片间差异，满足前道涂胶显影设备对机械手传输速度、重复定位精度及洁净度要求。

三、服务要求

（1）机械手洁净度 IOS Class 1； （2）自由度：5 轴（X、Z、Theta、R1、R2） ； （3）工作范围： a. R1/R2 Axis:0-588 mm； ***-480 mm； ***-360°； ***-1400 mm； （4）速度：X、Z、Theta 三轴联动最长距离+R 轴取放片动作 ＜2S； （5） 总尺寸： 长 1950×宽 980×高 700mm， 最低取片位 280mm； （6）需带有晶圆自动对中功能； （7）重复定位精度：≤±***（五轴定位精度同步测试） 。