基于气体组分及环境参量精确控制的液晶材料曝光技术
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基本信息
地区: 浙江省 宁波市 鄞州区
需求方: 宁波***公司
行业领域
高端装备制造产业,智能制造装备产业
需求描述
基于真空技术开发气体组分及环境参量精确控制成套技术方案,在此基础上开发液晶材料曝光线,为液晶聚合物材料提供良好的阻氧固化环境,为液晶聚合物的图案化光配向提供技术手段,为液晶聚合物相位补偿膜的加工生产提供必备的硬件条件。技术指标:氮气保护模块,外接高纯氮工作,腔内氧气控制浓度范围:***% - ***%,氧气浓度监控精度:***%。UV曝光模块,365 nm LED 冷光源阵列,紫外功率密度范围:0 - 150 mW/cm2,光强均匀度:>80%,有效光斑尺寸:100×100 mm2。光束整形:DMD,***,1920×1080@***。偏振模组:半波片\偏振片,旋转伺服电机@***°/plus。运动平台:X-Y二维直线电机运动平台,4inch。伺服聚焦:步进电机/音圈电机(0-200um)。数据格式:GDSII、BMP、dxf。数据分辨率:***。拼接误差:***。加工效率:30cm²/min。其他模块,输入电压:AC 220V,工作温度:-20 ~ 40 ℃。

Copyright © 2022 中国科学技术协会 版权所有 | 京ICP备16016202号-20
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