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报告题目：柔性电子薄膜的微纳制造与场效应晶体管器件

报告人：南开大学 朱剑 教授

报告时间：2022年5月25日（周五）下午2:30

报告地点：电子与信息工程学院4B303会议室

报告摘要：

柔性电子元器件与集成在电子皮肤、仿生机器人、智能医疗、人机交互等方面有重要的研究及应用潜力。适用于该领域的高性能柔性电子薄膜材料的制备与微纳加工仍是制约这一领域发展的瓶颈。报告将介绍课题组近年来利用自组装或纳米直写打印（纳米增材制造技术）开发的一系列适用于柔性场效应晶体管的导体、半导体、介电薄膜材料，阐述其高精度图案化工艺及电子薄膜与器件性能，另外也将介绍一种适用于柔性电子器件的短沟道晶体管的制备技术。