科创中国
MEMS微型金属三维结构件系统制造技术制备微型减速器
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2025-10-19 19:11:40
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 陈杰 | 2025-10-19 19:11:40
中国科学院微电子研究所开展了 MEMS 微型金属三维结构件系统制造技术（含微型减速器）的攻关研究，该技术可应用于航空航天、手术机器人、无人机、传感器、生化医疗、光微电子等领域，目前已形成涵盖光刻技术、电化学沉积、分层制造、刻蚀技术的核心技术体系，关键制造流程的稳定性与精度指标已达到行业应用基础要求。
当前国内 MEMS 微型金属三维结构件及微型减速器领域，高端技术与核心制造能力存在短板，部分关键产品依赖进口且成本较高。本项目通过整合光刻、电化学沉积、分层制造、刻蚀等多技术路径，实现了微型金属三维结构件的自主化制造，在尺寸精度、集成度及适配性上可匹配高端应用需求，能有效降低下游行业对进口产品的依赖，具备显著的技术替代与成本优化潜力。
本项目研发的 MEMS 微型金属三维结构件系统制造技术及微型减速器，可广泛应用于多领域。在航空航天领域，可用于微型导航与控制部件；在医疗领域，适配手术机器人的精密传动与操作机构；在无人机领域，助力小型化飞控系统集成；同时还可应用于高精度传感器的核心结构制造、生化医疗检测设备的微型部件生产，以及光微电子领域的器件封装与互联结构加工。
中国科学院微电子研究所开展了 MEMS 微型金属三维结构件系统制造技术（含微型减速器）的攻关研究，该技术可应用于航空航天、手术机器人、无人机、传感器、生化医疗、光微电子等领域，目前已形成涵盖光刻技术、电化学沉积、分层制造、刻蚀技术的核心技术体系，关键制造流程的稳定性与精度指标已达到行业应用基础要求。
该成果能推动我国 MEMS 微型制造领域的技术进步，打破部分高端产品进口依赖，保障相关产业链安全；在医疗领域可助力手术机器人等设备的小型化与国产化，降低医疗设备成本，改善医疗服务可及性；同时为航空航天、无人机等领域的产品小型化、高集成度发展提供技术支撑，间接促进相关行业效率提升与产业升级。
科研成果持有者将科技成果作为合作的基础和条件，与其他企业、研究机构或个人共同开展科技活动转化活动
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