一种对尖峰噪声免疫的高精度相干峰定位方法
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2025-10-15 12:36:31
该成果属于表面形貌测量技术领域,通过对干涉曲线原始数据预处理、高斯函数生成包络曲线、连续函数拟合包络线获取极值点,最终确定相干峰位置。该方法对尖峰噪声具有免疫性,定位精度高,不受采样频率波动限制,适用于白光扫描干涉术中高精度相干峰定位。
创新性地采用高斯函数作为模板调制干涉曲线生成包络曲线,有效抑制尖峰噪声影响;通过二次函数拟合包络线求取连续函数极值,相比传统离散点极值法定位精度更高;采用巴特沃斯滤波器进行低通滤波预处理,进一步提升数据质量;整体方法抗干扰能力强,稳定性高,不受采样频率波动限制。
主要应用于白光扫描干涉术相关的表面形貌测量领域,可提升超精密检测中样品表面形貌的测量精度,适用于超精加工产品质量控制、精密光学元件检测等场景,为高精度表面测量提供关键技术支撑,应用前景广泛。
研发团队核心成员为张春熹、李豪伟、李慧鹏、宋凝芳,均来自北京航空航天大学,在表面形貌测量与光学干涉技术领域具有深厚研究积累。团队分工协作,张春熹主导方法设计,李豪伟、李慧鹏参与算法优化与数据处理,宋凝芳负责实验验证与系统集成,共同完成该相干峰定位方法的技术突破。
文档未提及具体研发经费及收益。该成果可提高白光扫描干涉术的测量精度与抗干扰能力,推动超精密检测技术进步,对提升高端制造领域的质量控制水平具有重要意义。
可通过技术转让、技术合作等方式转化,期望与精密测量仪器制造商合作,将技术集成至白光干涉测量设备中,优化算法以适应不同测量场景,推动产业化应用(基于技术属性合理推导)
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