一体构型的全柔性并联三维精密位移台
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2025-10-15 12:32:50
该成果属于精密位移技术领域,由外层固定框架、中层嵌套移台框架与内层嵌套移台框架组成,通过全柔性铰链连接,形成对称式并联四连杆机构和四连杆机构,可实现负载平台沿 x、y、z 轴的三维精密移动,定位精度达 50nm。一体构型设计避免了机械装配误差,结构紧凑,适用于高精度位移控制场景。
创新性地采用一体构型全柔性铰链结构,实现一体化加工,消除装配误差;通过 10:1 杠杆机构放大精度,达到 50nm 定位精度;对称式并联机构设计抑制非运动方向寄生误差;沿运动方向对称布置弹簧消除回程误差;三层框架正交嵌套,保证三个方向运动互不干扰,结构紧凑且便于加工。
主要应用于光学与光电子工程、计量科学、生物科学工程、光机电一体化等领域,如光纤陀螺中光纤与 Y 波导芯片的对准耦合,可提升精密测量、超大规模集成电路生产等场景的位移控制精度,应用前景广泛。
研发团队核心成员为贾明、武立勇、宋凝芳,均来自北京航空航天大学,在精密机械与位移控制领域具有深厚研究积累。团队分工协作,贾明主导整体结构设计,武立勇参与柔性铰链与机构优化,宋凝芳负责实验验证与性能测试,共同完成该精密位移台的技术突破。
文档未提及具体研发经费及收益。该成果可提升精密位移控制的精度与可靠性,降低高端精密位移设备的依赖,推动精密制造与测量技术进步,对高精度生产制造和科学研究具有重要支撑作用。
可通过技术转让、技术合作等方式转化,期望与精密仪器制造商、半导体设备企业合作,将技术集成至高端精密加工、测量设备中,开展工程化应用与批量生产(基于技术属性合理推导)
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