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一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法

成果类型：: 发明专利

发布时间: 2025-10-15 10:37:24

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 陈杰 | 2025-10-15 10:37:24
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

航天科工惯性技术有限公司开展了加速度计摆片平桥加工核心技术的攻关研究，通过蚀刻窗口参考面、同时蚀刻平桥和窗口等步骤实现对加速度计摆片平桥的精确刻蚀。实现指标：蚀刻加工的平桥厚度精度可达 ±1μm，且蚀刻得到的平桥厚度不受原材料、腐蚀液及蚀刻速率的影响，有效提高了加速度计摆片的加工精度。

传统加速度计摆片平桥加工中，平桥和窗口分别加工，依靠估算蚀刻速率控制时间来控制平桥厚度，精度不高，且超声落料工艺设备、工艺复杂，废品率高，成本消耗大。本项目通过制作窗口参考面，窗口和平桥结构采用相同化学蚀刻方法同时加工，利用窗口作为参考面准确获得所需平桥厚度，无需超声落料工艺，简化流程，操作性强，具有成本优势，经济效益可观。

本项目研制的加速度计摆片平桥蚀刻方法可应用于加速度计摆片的加工生产中。摆片是加速度计的重要组成部分，平桥的加工精度对加速度计性能有直接影响，该方法提高了平桥加工精度，能为高精度加速度计的生产提供有力支持，适用于各类需要高精度加速度计的领域，如航空航天、惯性导航等相关行业。

按照解决该项成果技术问题所作贡献大小排序，研发团队成员包括袁枫、张兰、刘英、吴艳、秦淑斌、郭琳瑞、周峰。该团队在加速度计摆片加工技术领域具有一定的研发经验，分工明确，共同完成了该蚀刻方法的研究与开发，成功攻克了平桥加工精度不高的技术难题。

为研发该成果投入了一定的研发经费，目前虽未明确已取得的具体收益，但该方法简化了工艺流程，无需超声落料工艺，降低了设备和工艺成本，减少了废品率，具有成本优势。在推动科学技术进步方面，提高了加速度计摆片加工精度，为相关领域技术发展提供支撑；在保障国家和社会安全方面，高精度加速度计在航空航天等关键领域的应用有助于提升设备性能和可靠性。针对技术完善，预期后续投入可进一步优化工艺，扩大应用范围。

可采用技术转让、技术入股、技术合作等转化方式。希望与相关加速度计生产企业开展合作，将该蚀刻方法应用于实际生产中，提升企业产品质量和生产效率。资金需求方面，可根据合作规模和推广需求确定，目标是实现该技术的产业化应用，推动加速度计加工行业技术升级。