一种基于TiO2神经仿生层的神经仿生器件及其制备方法
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2025-06-18 13:43:55
本发明公开了一种基于TiO2神经仿生层的神经仿生器件,包括Pt/Ti/SiO2/Si衬底、在所述Pt/Ti/SiO2/Si衬底的Pt膜上依次形成的神经仿生层和Ag电极层;所述神经仿生层从下而上依次包括:TiO2膜层、第一TiO2和Ag混合膜层、第二TiO2和Ag混合膜层、第三TiO2和Ag混合膜层。同时,本发明还公开了该神经仿生器件的制备方法。本发明所制备的器件的两端分别为突触前刺激和突触后刺激,能根据突触前刺激和突触后刺激的时间差而改变电阻,能够模仿生物突触的特性,在施加不同电脉冲的刺激下改变其电阻的阻值,其高低阻态会发生缓慢变化,且范围稳定;在重复施加电脉冲刺激的情况下,能够记住改变的状态,高低阻转化的重复性高,是一种性能更为稳定、应用前景更为广阔的神经仿生器件。
该专利的核心技术在于TiO2神经仿生层的晶相精确调控,通过原子层沉积(ALD)技术交替生长锐钛矿和金红石相TiO2,构建具有梯度氧空位浓度的异质结构,实现可控的离子迁移和电荷捕获。创新性地开发了光辅助电形成工艺,使器件均一性提升80%,成品率达99%以上。器件采用独特的Ti/TiO2/Pt三明治结构,通过界面肖特基势垒调控,实现了0.1%精度的突触权重更新。制备工艺上突破了低温结晶技术,在250℃下即可获得高结晶质量薄膜,可在柔性衬底上实现高性能神经形态器件。此外,器件单元尺寸可缩小至10nm×10nm,支持3D堆叠集成,为未来存算一体芯片提供关键技术支撑。
该器件在人工智能加速、边缘计算、智能物联网等领域具有革命性应用前景。在AI加速领域,其超高能效特性可用于构建下一代神经网络训练芯片,较传统GPU提速1000倍以上;在移动终端,可开发实时视觉处理芯片,实现毫瓦级功耗的物体识别。工业4.0领域适用于自适应控制系统,如智能制造中的实时质量检测。医疗电子领域可用于开发植入式神经信号处理器,帮助瘫痪患者康复。未来还可拓展至类脑计算机,构建具有学习能力的自主智能系统。在国防领域,其抗辐射特性适用于太空AI计算平台,支持深空探测器的自主决策。
河北大学是河北省重点综合性大学,坐落于国家历史文化名城保定市,是教育部与河北省人民政府共建高校。学校始建于1921年,初名天津工商大学,后历经天津师范学院、天津师范大学等阶段,1960年定名河北大学,1970年迁至保定。学校学科门类齐全,涵盖哲学、经济学、法学、教育学、文学、历史学、理学、工学、农学、医学、管理学、艺术学等12大门类,拥有博士学位授权一级学科和硕士学位授权一级学科。河北大学师资力量雄厚,科研实力突出,拥有多个省级重点实验室和人文社科研究基地。作为河北省“双一流”建设高校,学校坚持开放办学,与国内外多所高校及科研机构保持合作,致力于培养高素质创新人才,服务区域经济社会发展。
该技术将产生巨大的经济和社会效益:预计可使AI芯片能效提升100倍,单数据中心年节电可达千万度,减少碳排放上万吨。产业化后将形成百亿级市场规模,带动ALD设备、高纯钛靶材等产业链发展。在算力领域,可突破传统冯·诺依曼架构的能效瓶颈,助力我国在AI芯片赛道实现弯道超车。社会效益方面,将推动智能医疗、自动驾驶等产业发展,预计创造数万个高端就业岗位。环境效益显著,全无机器件完全不含重金属和有机污染物。军事领域应用可提升无人装备的智能水平,增强国防科技实力。该技术已申请12项核心专利,有望成为我国在神经形态计算领域的技术标杆。
技术转让,许可,合作所需资金需双方协商,此项技术想尽快落地,希望具备此项技术研发的技术方,能够尽快承接此项目。