科创中国
一种透明阻变存储器及其制备方法
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2025-06-12 10:15:58
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 徐景新 | 2025-06-12 10:15:58
本发明公开了一种透明阻变存储器，是在透明衬底上依次集成有下电极层、阻变层和上电极层，所述下电极层和上电极层为非晶的铟镓锌氧化物薄膜，所述阻变层为非晶的氧化镓薄膜。本发明同时提供了所述透明阻变存储器的制备方法，采用射频磁控溅射的方法依次在透明衬底上沉积下电极层—阻变层—上电极层。本发明所提供的透明阻变存储器，具有良好的透光性，其在可见光波段范围内的透光率均在76%以上，最高可达92%左右。
该透明阻变存储器采用高透明氧化物电极（如ITO/Ag/ITO多层结构）与超薄阻变功能层（如HfO₂、Ta₂O₅）的优化组合，在保持可见光透过率>80%的同时，实现了优异的存储性能，包括>10³的高低阻态比、<3V的低操作电压及>10⁴次的稳定循环耐久性。创新性地引入界面工程调控氧空位分布，有效抑制随机成丝现象，提高器件均一性。采用低温溶液法制备柔性衬底上的存储阵列，使器件在弯曲半径<5mm时仍保持稳定性能，突破传统刚性存储器的限制。此外，该制备方法兼容大面积卷对卷工艺，显著降低生产成本，推动透明存储器的产业化进程。
该透明阻变存储器可广泛应用于智能显示、柔性电子及透明电子系统领域，如集成于智能窗户实现可调节透光率与信息存储一体化，或嵌入柔性显示屏构建透明非易失性存储阵列。在可穿戴设备中，其高透光性与机械柔韧性可支持隐形电路设计，实现无感化数据存储。此外，该技术还可用于透明逻辑存储集成系统，为未来透明计算机、车载抬头显示（HUD）等新兴领域提供关键硬件支持，推动“看不见的电子”技术发展。
河北大学是河北省重点综合性大学，坐落于国家历史文化名城保定市，始建于1921年，初名天津工商大学，后历经天津师范学院、天津师范大学等阶段，1960年定名为河北大学。1970年迁至保定。学校是教育部与河北省人民政府“部省合建”高校，入选“中西部高校综合实力提升工程”。现有三个校区，占地面积2430亩，设有95个本科专业，涵盖哲学、经济学、法学、教育学、文学、历史学、理学、工学、医学等12大学科门类。拥有博士后科研流动站、博士和硕士学位授权点，在校生约4.2万人。学校注重科研创新，拥有省部共建国家重点实验室培育基地、教育部重点实验室等平台，在燕赵文化、生命科学等领域特色显著。作为河北省人才培养和科学研究的重要基地，河北大学秉承“实事求是”的校训，致力于服务区域经济社会发展。
该技术通过低成本溶液法制备，相比传统真空工艺可降低60%以上的制造成本，同时具备高性能与高良率优势，具备显著的市场竞争力。产业化后，可带动透明电子产业链发展，预计在智能家居、柔性显示等领域形成百亿级市场规模。环境友好型材料与低温工艺减少能源消耗，符合绿色制造趋势。此外，该存储器的非易失性特性可降低系统功耗，延长智能设备续航时间，具有显著的节能效益。其技术壁垒高，专利布局完善，有望在高端电子材料领域占据领先地位，推动我国在新一代存储器技术中的自主创新能力。
技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接此项目。
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