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一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法

成果类型：: 发明专利

发布时间: 2025-05-21 13:25:54

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 徐景新 | 2025-05-21 13:25:55
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

本发明公开了一种半导体基片的流体动压抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘和待抛光件，所述第一转轴和第二转轴相互平行，且所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工件盘固定安装于所述第二转轴上，待抛光件的下底面与所述抛光盘的上表面相接触；所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述抛光液覆盖于所述抛光盘的上表面上。并且提供一种抛光方法，包括以下步骤：1)将抛光盘、待抛光件和工件盘进行安装；2)启动第一转轴和第二转轴进行抛光加工，并且不断向抛光盘的上表面加入抛光液，直至抛光完成；3)抛光完成。本发明具有抛光均匀、加工效率高和使用方便的有益效果。

本技术采用创新的流体动压抛光原理，通过精密设计的流体动力学系统在抛光界面形成稳定的压力分布，实现半导体基片的超精密加工。装置配备智能控制系统，可实时调节流体参数与工艺条件，确保材料去除的均匀性和可控性。突破性地解决了传统抛光中机械接触导致的表面损伤问题，同时保持较高的加工效率，特别适合硬脆材料的纳米级表面处理。

该技术主要面向半导体制造领域，适用于硅、碳化硅、氮化镓等各类半导体基片的全局平坦化加工。随着5G通信、新能源汽车等产业的快速发展，对高性能半导体器件的需求持续增长，本技术在集成电路、功率器件等产品的制造过程中具有重要应用价值。同时，在光学玻璃、精密陶瓷等材料的超精密加工领域也展现出良好的拓展潜力。

广东工业大学（GDUT）是广东省重点建设的以工为主、多学科协调发展的综合性大学，坐落于广州。学校始建于1958年，1995年由三所工科院校合并组建，现为广东省高水平大学建设高校，入选国家"111计划"和"卓越工程师教育培养计划"。学校以工科见长，工程学、材料科学等学科进入ESI全球前1%，拥有国家重点实验室等国家级科研平台。现有全日制在校生4.6万余人，设21个学院，84个本科专业，8个一级学科博士点。学校注重产学研结合，与华为、美的等企业深度合作，科研经费超10亿元，专利授权量位居全国前列。

该技术可显著提升半导体基片的加工质量和生产效率，降低废品率和生产成本。通过非接触式抛光减少基片损伤，提高产品可靠性。装置运行稳定，维护简便，有助于实现智能化生产。产业化应用将促进我国半导体装备制造水平的提升，创造显著的经济效益，并推动相关产业链的技术进步。

技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接此项目。