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一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法

成果类型：: 发明专利

发布时间: 2025-05-21 13:23:35

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 徐景新 | 2025-05-21 13:23:36
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件，所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述磁性体设于所述抛光盘的下方，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工件盘固定安装于所述第二转轴上，待抛光件与所述抛光盘相接触；所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述抛光液覆盖于所述抛光盘的上表面上。并且提供一种抛光方法，包括以下步骤：1)将抛光盘、待抛光件和工件盘进行安装；2)启动第一转轴和第二转轴进行抛光加工，并且不断向抛光盘的上表面加入抛光液，直至抛光完成；3)抛光完成。本发明具有抛光均匀、加工效率高和使用方便的有益效果。

本技术创造性地将磁流变效应与流体动压原理深度融合，开发出新一代复合抛光系统。通过智能调控磁场分布与流体动压的协同作用，实现了抛光界面的动态精确控制。创新的多参数耦合模型突破了传统抛光技术的局限性，可根据材料特性自动优化工艺参数，在保证加工精度的同时显著提升效率。系统采用模块化设计，具备良好的工艺适应性和稳定性。

该技术在光学元件超精密加工领域具有突出优势，特别适合复杂曲面光学器件的批量生产。随着光电显示、半导体封装等行业的快速发展，对高性能抛光装备的需求持续增长。本技术还可延伸应用于第三代半导体材料、精密模具等硬脆材料的加工，在航空航天、医疗器械等高端制造领域具有广阔的市场空间，有望成为超精密加工的主流解决方案。

广东工业大学（GDUT）是广东省重点建设的以工为主、多学科协调发展的综合性大学，坐落于广州。学校始建于1958年，1995年由三所工科院校合并组建，现为广东省高水平大学建设高校，入选国家"111计划"和"卓越工程师教育培养计划"。学校以工科见长，工程学、材料科学等学科进入ESI全球前1%，拥有国家重点实验室等国家级科研平台。现有全日制在校生4.6万余人，设21个学院，84个本科专业，8个一级学科博士点。学校注重产学研结合，与华为、美的等企业深度合作，科研经费超10亿元，专利授权量位居全国前列。

该技术可大幅提升加工效率和产品良率，显著降低生产成本。通过智能化控制减少人工干预，提高工艺稳定性。装置运行能耗低，符合绿色制造要求。产业化应用将推动我国精密加工装备的技术升级，创造可观的经济效益，并提升相关行业的核心竞争力。

技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接此项目。