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一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法

成果类型：: 发明专利

发布时间: 2025-05-20 10:56:10

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 徐景新 | 2025-05-20 10:56:10
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

本发明属于抛光技术领域，更具体地，涉及一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法，其中抛光液包括基液以及混合于基液中的金属粉末、磨料；金属粉末与磨料的质量比为1:2～1:4，金属粉末的金属性弱于铟。本发明中一方面通过金属接触腐蚀反应将磷化铟表面氧化，从而降低磷化铟表面的硬度，其避免了使用酸性物质或碱性物质生成有毒气体危害工作人员安全或污染环境，同时还避免了抛光液对抛光装置的腐蚀。

创新研制具有选择性腐蚀-钝化双功能特性的抛光液配方，通过pH响应型添加剂实现表面化学反应精准调控，开发多参数耦合的智能抛光装置，集成在线监测与闭环控制系统，突破传统抛光工艺的材料去除率与表面质量矛盾，实现磷化铟晶片的高效、低损伤加工，工艺稳定性和重复性显著优于现有技术方案。

该技术主要面向光通信芯片、高速电子器件等高端制造领域，可广泛应用于磷化铟衬底的精密抛光加工，同时可扩展至砷化镓等其他III-V族化合物半导体材料的超精密加工，在5G通信、数据中心、量子计算等战略新兴产业具有明确应用需求，市场增长潜力巨大且进口替代空间显著。

广东工业大学（GDUT）是广东省重点建设的以工为主、多学科协调发展的综合性大学，坐落于广州。学校始建于1958年，1995年由三所工科院校合并组建，现为广东省高水平大学建设高校，入选国家"111计划"和"卓越工程师教育培养计划"。学校以工科见长，工程学、材料科学等学科进入ESI全球前1%，拥有国家重点实验室等国家级科研平台。现有全日制在校生4.6万余人，设21个学院，84个本科专业，8个一级学科博士点。学校注重产学研结合，与华为、美的等企业深度合作，科研经费超10亿元，专利授权量位居全国前列。

技术层面实现III-V族半导体抛光工艺的重大突破并构建自主可控技术体系，经济层面显著降低生产成本和提高产品良率，产业层面完善我国化合物半导体产业链关键环节，社会层面促进新一代信息技术基础设施发展，环境层面通过工艺优化减少化学品消耗和废弃物排放，综合效益显著。

技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接此项目。