科创中国
一种制造透射电镜样品的设备
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2024-12-03 20:33:44
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 刘恒 | 2024-12-03 20:33:44
本实用新型公开了一种制造透射电镜样品的设备，包括底座，底座上设置有多级磨样盘，多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构，X轴运动机构上设置有Y轴运动机构，Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构，Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器，X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上，采用本实用新型制造透射电镜样品的设备制得的透射样品尺寸精度较高。
本实用新型的目的是提供一种制造透射电镜样品的设备，解决了现有样品减薄设备制得的薄片尺寸精度差，难以制备出微米级厚度透射样品的问题。本实用新型采用的技术方案是，一种制造透射电镜样品的设备，包括底座，底座上设置有多级磨样盘，多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构，X轴运动机构上设置有Y轴运动机构，Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构，Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器，X轴运动机构、Y轴运动机构和Z轴运动机构均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器都连接在控制器上。本实用新型的技术特征还在于，多级磨样盘包括至少两个不同目数的磨盘，多级磨样盘中磨盘呈“一”字形排列在底座顶面上。
透射电镜样品的制备是电子显微学研究中重要的步骤，透射电镜样品制备一般分两步，第一步是机械磨制，将待观察的试样按预定取向切割成约200μm-500μm的薄片，再经机械减薄至30-50μm；第二步是根据材料和仪器的要求的不同，根据试样特征需选择适当的制备方法进一步减薄，如双喷减薄法和离子减薄法等。
目前的机械减薄方法是手动研磨法，手动研磨法通常由人工按照金相砂纸型号从小到大依次进行研磨减薄和测量，以确定样品厚度。但是这种方法却存在诸多问题，如磨样时施加的力不均匀而使得试样发生偏磨，易造成样品厚度不均的现象而导致样品报废，且人工减薄法制备透射样品耗时耗力，存在成功率低、所得薄片尺寸精度差等问题。
咸阳职业技术学院创始于1937年，2004年经陕西省人民政府批准，教育部备案，由原陕西省乾县师范学校、彬县师范学校、仪祉农业学校和咸阳市体育运动学校、卫生学校、技工学校等6所学校合并而成，是咸阳市人民政府直属的唯一一所全日制公办普通高等学校。学院为省级示范高职院校、省级“双高计划”建设单位、全国文明单位、全国绿化模范单位、国家节约型公共机构示范单位和中国特色“双高计划”高水平专业群建设单位。全日制在校学生20000多名。
本实用新型的有益效果是，采用X轴运动机构、Y轴运动机构、Z轴运动机构、多级磨样盘、夹持机构和激光测距传感器组成全自动透射样品减薄设备，能够实时监测样品的厚度，根据样品实时厚度和目标厚度控制样品的运动轨迹，提高了样品减薄效率，也提高了样品减薄精度，结构简单，占用空间小，拆装方便，实用性高，采用该全自动透射样品减薄设备可制得各种厚度的透射样品，操作简单，精度较高。
技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，希望具备此项技术研发的技术方，能够承接此项目。
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