科创中国
《磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范》团体标准
成果类型：: 新技术
发布时间: 2023-09-26 18:16:42
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：“科创中国”高端装备制造产业科技服务团| 袁俊瑞 | 2023-11-20 13:11:32
本标准给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范一般术语及专用术语定义，介绍了现有的薄膜热电偶工作原理及基本组成，综合并给出了磁控溅射敏感薄膜的关键性能指标(溅射功率、溅射时间等)、保护层制备的需求指标，规定了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶的基本要求、操作人员规范等。
本标准可适用于钢铁冶金、航空航天等高温设备的温度测量；也适用于评估薄膜热电偶产品是否满足高温设备的温度测量需求。
本标准的制定填补了国内外关于磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器的空缺，不仅规定了相关术语、介绍了钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶，而且给出了钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶的制备工艺流程、敏感薄膜性能指标、磁控溅射法操作具体参数，给有关高温设备使用行业（如钢铁冶金行业、航空航天行业等）的相关企业带来了便利，同时也薄膜热电偶制备技术向更完整更健全的体系方向发展。
随着我国“工业4.0”和“中国制造2025”战略的实施，现代工业对高温设备精密化、自动化及智能化的要求越来越高，其中更稳定、安全的运行状态是设备的基础需求。“磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范”标准的制定，不仅有利于促进薄膜热电偶技术的发展以及相关温度传感器产品的性能，而且给出了高温设备相关企业的温度测量需求指标，有利于选择更合适的传感器产品保证设备的稳定运行，减少了以往需花费的时间精力。采用薄膜热电偶对高温部件的温度进行监测，是保证高温部件长期稳定运行的最优方案，具有广阔的应用市场。
本标准主要由华中科技大学、华工制造装备数字化国家工程中心有限公司，武汉数字化设计与制造创新中心有限公司，中国物理工程研究院机械制造工艺研究所研制起草。 起草团队由荣佑民，黄禹，吴从义，崔海龙，张国军，陈刚利，郭明慧，胡海东，曹海印，张康，陶宇轩等组成。标准研制组遵循标准引领、重点突出、科学性和适用性的原则，力求做到充分考虑目前发展过程中的技术，保持一定的前瞻性。
“磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范”标准的制定，提高了薄膜热电偶技术的发展以及相关温度传感器产品的性能，给出了高温设备相关企业的温度测量需求指标，将增加国内薄膜热电偶制备工艺研究单位和高温设备生产维修单位的工作效率，提升我国高温设备如钢铁冶金和航空航天等领域高温智能装备的发展水平，提高行业的国际竞争力。
本标准确定的指标符合大多数企业的实际情况，可直接在行业内大多数企业贯彻实施。也可与中国机械工程学会合作推广转化。
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