科创中国
一种新型跨尺度微纳精度控制与实现技术
成果类型：: 新技术
发布时间: 2023-08-17 16:44:25
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：山东省菏泽市| 周保华 | 2023-10-26 14:07:48
突破当前传统典型的数控机床进给伺服系统结构，创新性的提出的具有自主知识产权的大行程高精度微纳运动实现技术。突破传统伺服运动实现技术以及当前现有压电（磁）微纳驱动技术，通过机电耦合与差动复合原理实现了大行程、高精度、高频响、线性微纳尺度级运动控制。克服了当前微纳运动技术存在的行程极小（仅仅几个 mm）、刚性低、非线性蠕动等致命缺陷。该技术依据不同需求，可构建极低速下的各种等级需求的均匀无爬行的精确微纳伺服位移控制系统，成本低，精度高（0.1~0.005um）。
微纳尺度级运动控制及高精密加工、检测等技术领域。在需要大行程微位移的高精密加工行业具有良好的市场前景。可广泛用于诸如中凸变椭圆活塞、椭圆销轴、鼓形齿轮、中凸导轨、各类车/铣/磨等高端加工与检测数控装备、IC 器件制造与检测装备、纳米晶体材料可控生长设备等。在超精密及高精度机床、显微平台、IC 制造与检测、晶体材料可控生长等高端高精智能装备的广泛应用，具有颠覆性的深远意义。如果本装置在全国范围内在精密机床与检测智能装备上全面推广应用，每年可产生几亿甚至几十亿元的直接经济效益。
跨尺度微纳精度控制与实现技术是指在微纳米尺度范围内，实现对不同尺寸、不同材料、不同形状的物体进行精确控制和制造的技术。这项技术在多个领域具有广泛的应用前景：微电子领域：随着集成电路的不断小型化，跨尺度微纳精度控制技术可以帮助实现更高密度的电路集成，提高芯片性能，降低能耗。光子芯片领域：光子芯片是一种基于光波导、光开关等光子器件的光电集成系统。跨尺度微纳精度控制技术可以提高光子芯片的性能，降低成本，并有助于实现光子芯片的商用化。生物医学领域：跨尺度微纳精度控制技术可以应用于生物传感器、药物递送系统、组织工程等生物医学领域，实现对生物体系的更高精度控制和治疗。新能源领域：太阳能电池、风能等新能源领域对器件的转换效率和稳定性有很高要求。跨尺度微纳精度控制技术可以提高新能源器件的性能，降低成本，推动新能源产业的发展。
山东大学技术转移中心成立于 2014 年 6 月，是挂靠我校科学技术研究院专业从事科技成果转移转化、促进产学研合作的内设管理服务机构，设置“科技合作部”、“成果转化部”和“合同管理部”。“科技合作部”负责各类横向科研合作、产学研合作平台和项目的策划、组织和管理；产学研对接与校地、校企科技合作的组织和实施；学校各地技术转移机构的建设；学校对外科技挂职人员的推荐和管理。“成果转化部”负责制定完善成果转化政策，各类科技成果转化项目的策划和组织实施，专利等知识产权的产业化组织和实施，成果的收集、发布和管理等。“合同管理部”负责制定完善科技开发与产学研合作政策；横向科技合同和成果转化合同的审核、项目过程管理；技术转移转化合同签订咨询服务等。
跨尺度微纳精度控制与实现技术的应用可以带来以下几个方面的效益：提高产品性能：通过实现对不同尺寸、不同材料、不同形状的物体进行精确控制和制造，跨尺度微纳精度控制技术可以提高产品的性能，使其在功能、效率、稳定性等方面得到提升。降低生产成本：跨尺度微纳精度控制技术可以实现高精度、高效率的制造，有助于降低生产成本。通过提高生产效率和减少原材料浪费，跨尺度微纳精度控制技术可以为生产过程带来显著的经济效益。促进产业升级：跨尺度微纳精度控制技术的应用可以推动传统产业的升级，使其向更高端、更智能、更环保的方向发展。同时，该技术还能催生新兴产业，如微电子、光子芯片、生物医学等领域，为经济发展注入新动力。
科技成果所有人与合作方订立合作转化协议，发挥各自的优势，共同转化科技成果，并就收益共享、风险共担的办法达到共识。技术转让：企业可以通过购买专利权的方式，将实用新型专利技术引入自己的生产过程中。技术转让通常涉及到专利权的所有权和使用权的转移，以及技术资料、工艺参数等技术的具体传授。
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