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行星式旋转流化原子层沉积方法及装置

成果类型：: 新技术

发布时间: 2023-08-03 13:41:23

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：成果发布人| 黄利婷 | 2023-08-03 13:41:23
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

微纳米颗粒是我们日常生活中的重要组成部分。应用原子层沉积技术对初级纳米颗粒进行改性是颗粒部分技术下一步的发展方向之一。原子层沉积技术能够提供纳米尺度超薄薄膜，具有薄膜厚度、成分、形貌的高可控性，同时薄膜具有高度的均匀一致性。

本项目开发了行星流化式纳米颗粒原子尺度表面修饰的装置。改性过程依托于原子层沉积技术，通过前驱体分子在颗粒表面的自限制化学吸附完成纳米尺度的可控、均匀包覆。

本技术开发的微纳米颗粒表面纳米结构制备装置批次处理量达到千克级；前驱体利用率接近100%；相比同类静态颗粒改性装置，工艺周期缩短一个数量级以上；腔体温度、压力、流化状态通过预测控制算法得以快速稳定。前景广阔

宁波市科技创新协会是5A级社会组织。协会现有“公牛集团、如意股份、舜宇光学、金田铜业、华翔集团、杜亚机电”等1500多家科技创新会员企业，并汇聚了众多领域的专家学者、科技院校、科技工作者资源。协会目前拥有单项冠军企业18家，国家级专精特新企业78家，市级专精特新企业185家，高新技术企业1057家；拥有众多如浙大机器人研究院、哈工大宁波研究院、大连理工宁波研究院、西工大宁波研究院等优秀科技服务单位，和浙江大学、宁波大学、浙大宁波理工、宁波工程学院、浙江万里学院等科技合作院校，组成了100多名科研机构院校科技专家和科技项目申报团队。

在沉积过程中，利用纳米颗粒夹持器的自转和公转运动，实现软团聚体的解耦。同时借助流化作用保持纳米颗粒的连续运动，促进了前驱体的扩散及其与颗粒的接触。微米级和纳米级颗粒均可进行沉积，批次处理量达到千克级，前驱体利用率接近100%。此外，利用先进的预测控制算法实现反应温度、反应、与流化状态的快速稳定。

2. 本项目可以采用技术转让、技术合作等多种形式进行对接，欢迎有需求的企业单位联系洽谈。