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一种金属有机化学气相沉积装置

成果类型：: 实用新型专利

发布时间: 2023-06-20 13:56:53

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：“科创中国”黑龙江科技服务团| 张宇 | 2023-11-03 16:29:49
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式
本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积装置，它涉及半导体外延生长设备技术领域；所述箱体的内底部安装有支撑轴，所述支撑轴的内上端安装有低速电机，所述低速电机的转轴上连接有安装板，所述安装板的上侧设置有衬底，所述安装板的两端均安装有风叶，所述箱体内部的上端安装有气体喷淋机构，所述气体喷淋机构上分别安装有进气管一与进气管二，所述进气管一与进气管二上均安装有控制阀门，所述箱体的左端安装有观察窗，所述排气管穿接在箱体的左侧；本实用新型便于实现快速混合与沉积，且气体混合均匀，操作简便，效率高，节省时间。
本实用新型的有益效果为：便于实现快速混合与沉积，且气体混合均匀，操作简便，效率高，节省时间。

金属有机化学气相沉积（MOCVD）装置是一种用于制备薄膜材料的关键设备。它广泛应用于半导体、光电子、光伏和显示等领域，用于制备各种功能性薄膜材料，如氮化物、磷化物和氧化物等。

在半导体制造领域，MOCVD装置可用于生长高质量的化合物半导体材料，如GaN、InGaN、SiC等，这些材料在LED、激光器、电子器件等方面有广泛的应用。

在光伏领域，MOCVD装置可用于制备高效低成本的多结太阳能电池，如GaAs、CdTe等，以提高太阳能的利用率和转换效率。

黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。

首先，MOCVD是物理学领域的重要工艺试验仪器，它对于研究和发展新的物理现象、材料科学等具有关键作用。通过使用MOCVD，科学家们可以研究和制备具有特殊性能的材料，如高导电性、高绝缘性、高强度等，这些材料在电子、通信、航空航天等领域有广泛的应用。

技术转让、合同、入股均可，具体资金双方协商，希望尽快落地实现产业化。