科创中国
一种单片集成二维磁场传感器
成果类型：: 实用新型专利
发布时间: 2023-06-19 15:02:35
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：“科创中国”黑龙江科技服务团| 于兴洲 | 2023-10-23 10:11:31
本实用新型公开了一种单片集成二维磁场传感器及其制作工艺，所述传感器包括第一硅片(1)和第二硅片(2)，在第一硅片(1)上设置有用于检测二维磁场的四个硅磁敏三极管，其中两个硅磁敏三极管在xy平面内沿y轴、相反磁敏感方向对称设置，用于x轴方向磁场分量的检测，另两个硅磁敏三极管在xy平面内沿x轴、相反磁敏感方向对称设置，用于y轴方向磁场分量的检测；并且，在第一硅片上、每个硅磁敏三极管周围制作有隔离环(11)。本实用新型所述单片集成二维磁场传感器结构简单，实现了二维磁场的检测，芯片实现了小型化和单片集成化。
(1)本实用新型所述单片集成二维磁场传感器将四个立体化结构硅磁敏三极管(SMST1、SMST2、SMST3、SMST4)与四个集电极负载电阻(RL1、RL2、RL3、RL4)进行有效结合成单片集成化，分别构成两对差分测试电路，实现了二维磁场(Bx、By)检测；
(2)本实用新型所述单片集成二维磁场传感器采用隔离环将硅磁敏三极管与其他器件之间进行隔离，这样，提高了测试过程中各方向磁灵敏度一致性并降低元器件间特性交叉干扰；
(3)本实用新型所述单片集成二维磁场传感器结构简单，实现了芯片的小型化和集成化；
(4)本实用新型所述制作工艺简单，易于实现，适合规模化工业应用。
- 地磁场测量：在地磁场测量中，该传感器可被用于对地磁场的强度和方向进行高精度的测量。
- 磁探伤：在磁探伤中，该传感器可被用于检测金属材料内部的缺陷。
- 医疗领域：在医疗领域，该传感器可被用于对生物体内的磁场进行高精度的测量，如对人体的磁场进行监测，对心脏的电活动进行记录等。
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
- 高检测精度：采用单片集成技术，消除了传统传感器之间的误差，提高了检测精度。
- 降低成本：单片集成技术使得生产过程更加简单，降低了生产成本，同时减少了原材料的浪费。
- 增强稳定性：单片集成二维磁场传感器采用先进的制作工艺，增强了传感器的稳定性和可靠性。
- 扩大应用范围：由于其高精度和稳定性，使得该传感器在航空航天、汽车电子等领域得到广泛应用。
技术转让、合同、入股均可，具体资金双方协商，希望尽快落地实现产业化。
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