科创中国
一种微压传感器及其制作工艺方法
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2023-06-01 10:29:19
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：“科创中国”黑龙江科技服务团| 武新影 | 2023-11-10 10:37:57
本发明公开了一种微压传感器及其制作工艺方法，所述微压传感器包括SOI衬底，在所述SOI衬底上设置有弹性元件和敏感元件，以实现对外加微压的测量；其中，弹性元件包括弹性硅膜和四个梯形梁结构，敏感元件为梯形梁结构上四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构。本发明通过微电子机械加工技术在SOI晶圆上制作弹性硅膜、四个梯形梁结构和四个压敏电阻，具有集成化和小型化的特点，构成的微压传感器能够实现对外加压力的检测且能实现微压测量。
(1)本发明所提供的微压传感器，在绝缘层硅(SOI)晶圆上实现弹性硅膜、等腰梯形梁和压敏电阻有效结合，具有集成化和小型化的特点，同时利用等腰梯形梁应力集中效应，完成对外加微压的检测，可实现在0～3kPa范围内压力的测量；
(2)本发明所提供的微压传感器，利用绝缘硅(SOI)晶圆器件层作为弹性硅膜，其厚度容易控制，能够使微压传感器具有较好的灵敏度一致性；
(3)本发明所提供的微压传感器的制作工艺方法，与现有硅工艺兼容性高，操作简单，条件易控，适于规模化生产。
本项目依托工程国华锦界电厂三期两台汽轮发电机组目前已成功投运，机组轴系振动情况优良，绝对膨胀及相对胀差均在合理区间，汽缸稳定性良好。其中轴承振动最大为55.88μm（ #5 号机）和59.12μm（#6 号机），均处于国内领先水平；汽轮机平台噪声低于77dB（A），低于国家标准5~7dB，均处于国内领先水平。2021 年10 月，由西安热工研究院有限公司对两台汽轮机进行了性能验收试验，其中1 号机组试验热耗率为7528.6kJ/(kW·h)， 2 号机组试验热耗率值为7531.2kJ/(kW·h)，两台机组各项性能指标均达到设计要求。
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
宫颈癌是妇科常见的恶性肿瘤之一，发病率和死亡率在女性恶性肿瘤中局第二位，仅在宫颈癌之后。我国每年新发病例为13.15万，占全世界新发病例的28.8%，居我国妇科恶性肿瘤之首位。近年来，宫颈癌的发病率和死亡率有逐年增长的趋势，且呈现年轻化趋势。放射治疗既是中晚期宫颈癌的首选治疗方法，也是早期宫颈癌术后辅助治疗的主要手段，而宫颈腺癌对放疗的敏感性却低于鳞癌。Ⅰ～ⅣA 期宫颈腺癌行单纯放疗，其局部复发率为 38%，同期宫颈鳞癌复发率则为15%。因此，如何预测和提高宫颈腺癌细胞对放疗的敏感性，从而有效提高宫颈癌的治疗效果，已成为人们研究的热点。
本研究通过real time-PCR、Westernblot法及免疫组织化学方法检测DLL4蛋白在宫颈癌组织及正常宫颈组织中的表达并分析DLL4与宫颈癌临床病理学参数的关系以及其表达水平与宫颈癌患者预后的关系，初步了解DLL4与宫颈癌发生发展、侵袭转移及预后的相关性。得到以下结论：DLL4在宫颈癌中的表达明显高于正常宫颈腺癌组织，且DLL4与宫颈癌的TNM分期、淋巴结转移以及复发密切相关，同时通过生存分析本实验结果提示DLL4呈高表达的患者其总生存及无进展生存均低于低表达者。同时通过细胞体外实验研究发现抑制表达后，宫颈癌Hela细胞的增殖能力、迁移能力、侵袭能力均明显下降。
本课题的研究成果将为宫颈癌的发生、发展研究提供新的线索，为宫颈癌
技术转让、合同、入股均可，具体资金双方协商，希望尽快落地实现产业化。
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