科创中国
铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2023-05-12 16:14:50
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：天津市滨海新区| 宋学姮 | 2023-05-18 10:38:07
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置，包括进样室，与进样室真空连接的铜铟镓硒蒸发室和样品运转室，与样品运转室真空连接的钼溅射室、激光光刻室、铜铟镓溅射室、硒化室及氧化锌溅射室，上述各室之间安装有隔离阀板。铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置还包括与样品运转室相连的过渡室和与过渡室相连且处于常压下的电化学反应室。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置将整个铜铟镓硒太阳能电池制备模块整合到一起，实现玻璃衬底进样，太阳能电池产品出样的流水线作业。由于绝大部分制备室之间真空相连，可减少或降低样品制备过程中暴露在空气中引起的氧化和杂质污染问题，提高产品质量。
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置，其特征在于：包括进样室，与该进样室真空连接的铜铟镓硒蒸发室和样品运转室，与该样品运转室真空连接的钼溅射室、激光光刻室、铜铟镓溅射室、硒化室及氧化锌溅射室，该铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置还包括与该样品运转室相连的过渡室和与该过渡室相连且处于常压下的电化学反应室，上述各室之间安装有隔离阀板。
铜铟镓硒（Cu (Inja) ，简称CIGS)薄膜太阳能电池具有低成本、高效率、稳定性好等优点，是公认的最具有发展和市场潜力的第二代太阳能电池。人们对其研究兴起于上个世纪八十年代初，经过近三十年的发展，铜铟镓硒薄膜太阳能电池的理论研究以及制备工艺取得了可喜的成果，目前其最高实验室光电转化效率达到20. 3 %，是目前转化效率最高的薄膜光伏电池。
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在优选的实施例中，过渡室上安装有抽真空装置。
上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置将整个铜铟镓硒太阳能电池制备模块整合到一起，实现玻璃衬底进样，太阳能电池产品出样的流水线作业。由于绝大部分制备室之间真空相连，可减少或降低样品制备过程中暴露在空气中引起的氧化和杂质污染问题，提高产品质量。
技术合作
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
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