一种液路循环系统
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2023-04-23 11:01:27
原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)是纳米技术领域用来进行高分辨率扫描成像和纳米加工的主要工具之一。AFM沉积加工利用的是场发射的原理。需要在针尖基底之间形成大的电场,使针尖表面的原子突破势垒束缚,发射到基底表面,并在表面堆积形成焊接点。AFM探针的结构是:针尖位于一根细长的弹性悬臂梁上,控制针尖接近基底,通过电流施加影响实施焊接。在具体的加工过程中,样品台存在温度漂移问题,影响加工精度。将仪器设备整体放入恒温环境成本较高,因此向样品台通入冷却液,维持样品台恒定低温是一种简单易实现的方案。而冷却过程对应专门的冷却工位,基座需要在冷却工位与加工工位之间移动,由于人工干预移动存在精度的不确定性,因此追求加工全过程自动化。
将油循环与水循环通过一个阀来控制,在阀芯内设置了两条横向通道,两条横向通道将五条油缸油路有机的联系起来,在阀芯内设置了豁口将两条冷却液通道连通起来。五条油缸油路设置在阀芯的一个半圆范围内,冷却液豁口设置在阀芯的另外一个半圆范围内,其运动范围也在另外一个半圆范围内,驱动装置在有限角度内旋转。从而将两种介质完全的隔离开。将对应冷却液的两条阀芯通道改为一个豁口连通两条冷却液路,从而避免了更大的加工成本,同时由于工件尺寸的关系,冷却液也不会过多,泵送压力也不会过大,所以不用担心豁口的设置导致密封性差的问题。设置了冷却液的延时机构,通过延时支路、延时活塞的设置,使得供液通道的开启需要先顶开活塞再供液,起到了冷却液的释放时刻晚于基座退离加工位时刻的作用。设置了直径较小的渗漏通道,直接渗漏至储液箱,当停止供给冷却液后,避让槽中的液体增加时,推开活塞,渗漏通道露出从而渗漏回储液箱,通过这种机构实现了保液一段时间后再渗漏的效果。
本技术具有较强的财务盈利能力,其财务净现值良好,投资回收期合理。综上所述,该技术属于国家鼓励支持的项目,技术的经济和社会效益客观,技术的投产将改善优化当地产业结构,实现高质量发展的目标。技术转让,许可,合作所需资金需双方协商,此项技术想尽快落地保定,希望具备此项技术研发的技术方,能够尽快承接次项目。