科创中国
芯片研磨机的研磨液喷液装置
成果类型：: 实用新型专利
发布时间: 2023-03-30 15:57:18
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：安徽省芜湖市| 魏巍 | 2023-04-04 09:38:35
一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，目的是针对现有芯片研磨机的研磨液上料机构存在的不能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费较多、研磨液喷洒效果不佳的问题，提供一种结构设计合理、能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费少、研磨液喷洒效果好的芯片研磨机的研磨液喷液装置。
本实用新型在上研磨盘内设置有内腔，将内腔与中空的从动轴连通，在上研磨盘表面设置有研磨槽，在研磨槽内设置有排液孔，并将排液孔与内腔连通，将输液管插入从动轴顶端，输液泵通过输液管将研磨液输送到中空的从动轴内，研磨液进入到上研磨盘的内腔中，并经过排液孔排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
研磨机作为一种抛光、磨光设备在机械加工中广泛使用，在精密机械零件的加工过程中，为了降低工件的研磨抛光难度，多会采用研磨液喷洒到工件研磨表面对工件进行研磨处理。如申请号为202021726513.8的专利一种研磨抛光机的研磨液上料机构，其解决了研磨液易发生沉淀的问题，但其存在着不能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费较多、研磨液喷洒效果不佳的问题
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