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光电子砷化镓外延片-垂直共振腔面发射型激光器结构材料

成果类型:: 发明专利

发布时间: 2022-11-30 16:10:55

科技成果产业化落地方案
方案提交机构:广东省广州市| 柯锐鹏 | 2023-10-19 12:18:20
中科芯电VCSEL 等产品的主要指标达到国际水平。以 6 英寸PHEMT 为例,中科芯电在电子迁移率、二位电子气浓度、外延材料不均匀性、表面缺点密度等核心指标,均达到国际同类产品指标水平。 现拥有多条美国Veeco公司的GEN2000、GEN200大型生产型分子束外延设备工艺线, 包括全套的国际分析检测设备。建有2000多平方米的配套厂房,其中包括百级超净半导体和以及相关完备的无尘 生产车间的配套设施。并通过引进国外大型分子束外延(MBE)量产化设备,实现产品规模化生产。
有别于LED (发光二极管)和LD(Laser Diode,激光二极管)等其他光源,具有体积小圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小价格低廉、易集成为大面积阵列等优点,广泛应用于光通信、光瓶连、光存储等领域。 在精确度、小型化、低功耗、可靠性等方面占优的情况下,以VCSEL激光器为核心关键元器件的3D Sensing摄像头,会大量使用到手机等消费类电子产品当中去。 VCSEL本质上是一种半导体激光器,激光器是用来发射激光的装置,而半导体激光器则是以半导体材料为工作物质发射激光的器件,根据激光芯片的结构,半导体激光器可分为边发射激光器(EEL) 和垂直腔面发射激光器. (VCSEL) 。 中科芯电产品包括射频用化合物半导体PHEMT、HEMT以及光电子用VCSEL等产品。PHEMT、 VCSEL 等产品的主要指标达到国际一流水平。以6英寸PHEMT为例,中科芯电在电子迁移率、二位电子气浓度、外延材料不均匀性、表面缺点密度等核心指标,均达到或优于国际同类产品指标水平。

该科技成果的技术覆盖面广,广泛应用于光通信、光瓶连、光存储等领域,技术创新性强,技术成熟,投资回报可靠,目标市场处于成长市场,但是该市场很快就会出现多种技术路线,产品竞争激烈,具有较宽阔的市场前景。

中科芯电半导体科技(北京)有限公司于2014年10月成立,是专业生产砷化镓为主的化合物半导体外延微材料的高端科技企业,包括微电子与光电子芯片材料研发并大规模生产。公司于国内建成具有自主知识产权的砷化镓分子束外延(MBE)大规模生产基地和正在扩建的MOCVD产线,未来实现年产50万片以上的目标。公司已经通过ISO9001:2015,ISO14001,北京市高新企业,中关村高新技术企业等相关认证。

具有体积小圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小价格低廉、易集成为大面积阵列等优点,主要指标达到国际一流水平。有利于科技的发展进步,为高清稳定摄像头制备提供了新的解决方案。

转让、入股、合作开发均可,商业模式灵活。